介質(zhì)在外加電場時會產(chǎn)生感應電荷而削弱電場,介質(zhì)中的電場減小與原外加電場(真空中)的比值即為相對介電常數(shù)(relative permittivity或dielectric constant),又稱誘電率,與頻率相關。介電常數(shù)是相對介電常數(shù)與真空中介電常數(shù)乘積。如果有介電常數(shù)的材料放在電場中,電場的強度會在電介質(zhì)內(nèi)有可觀的下降。理想導體的相對介電常數(shù)為無窮大。
相對介電常數(shù)εr可以用靜電場用如下方式測量:在兩塊板之間為真空的時候測試電容器的電容C0。然后,用同樣的電容板間距離但在板間加入電介質(zhì)后測得電容Cx。然后相對介電常數(shù)可以用下式計算
εr=Cx/C0
在標準大氣壓下,不含二氧化碳的干燥空氣的相對電容率εr=1.00053.因此,用這種電構形在空氣中的電容Ca來代替C0來測量相對電容率εr時,也有足夠的準確度。(參考GB/T 1409-2006)
對于時變電磁場,物質(zhì)的介電常數(shù)和頻率相關,通常稱為介電系數(shù)
近十年來,半導體業(yè)界對低介電常數(shù)材料的研究日益增多,材料的種類也五花八門。然而這些低介電常數(shù)材料能夠在集成電路中應用的速度卻遠沒有人們想象的那么快。其主要低介電常數(shù)薄膜機械性質(zhì)量測結果原因是許多低介電常數(shù)材料并不能滿足集成電路應用的要求
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