探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、速器件的電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制的成本。

維護(hù)

探針測(cè)試臺(tái)x-y作臺(tái)的分類

縱觀內(nèi)外的自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在能及組成上大同小異，即主要由x-y向作臺(tái)，可編程承片臺(tái)、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測(cè)試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類，即:以美EG公司為代表的平面電機(jī)型x-y作臺(tái)(又叫磁性氣浮作臺(tái))自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)和以日本及歐洲家的采用滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y作臺(tái)型自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)。由于x-y作臺(tái)的結(jié)構(gòu)差別很大，所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可概而論，應(yīng)區(qū)別對(duì)待。

x-y作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)

無論是自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)還是自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)，x-y向作臺(tái)都是其zui核心的分。有數(shù)據(jù)表明探針測(cè)試臺(tái)的故障中有半數(shù)以上是x-y作臺(tái)的故障，而作臺(tái)故障有許多是對(duì)其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整成的，所以對(duì)作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。本文僅對(duì)自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)x-y作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)作介紹。

2.1 平面電機(jī)x-y步作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)

平面電機(jī)由定子和動(dòng)子組成，它和傳統(tǒng)的步電機(jī)相比其殊性就是將定子展開，定子是基礎(chǔ)平臺(tái)， 動(dòng)子和定子間有層氣墊，動(dòng)子浮于氣墊上，而可編程承片臺(tái)則安裝在動(dòng)子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y作臺(tái)，由于動(dòng)子和定子間無相對(duì)摩擦故無磨損，使用壽命長。

而定子在過程中廠家根據(jù)不同的要求如分辨力等，用機(jī)的方法在平面的鐵制鑄件上出若干個(gè)線槽，線槽間的距離即稱為平面電機(jī)的齒距，而定子則按不同的細(xì)分控制方式，按編制好的運(yùn)行程序借助于平面定子和動(dòng)子之間的氣墊才能實(shí)現(xiàn)步運(yùn)動(dòng)。對(duì)定子的損傷將直接影響作臺(tái)的步度及設(shè)備使用壽命，損壞嚴(yán)重將成設(shè)備無法使用而報(bào)廢。

由于平面電機(jī)的定子及動(dòng)子是暴露在空氣中，所以潮濕的環(huán)境及長時(shí)期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象，另外重物的碰撞及堅(jiān)銳器物的劃傷都將對(duì)定子成損傷，而影響平面電機(jī)的步度及使用壽命，對(duì)于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向個(gè)方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉蘸煤油清洗，整個(gè)過程操作要十分地細(xì)心，不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)象。另外也可用沒有腐蝕性，不損壞定子的除銹劑除銹。對(duì)于正常情況下的定子則要定期作除塵清理作，清理時(shí)應(yīng)通入大氣以便動(dòng)子移動(dòng)，方法是用脫脂棉蘸少許大于95%的無水乙醇，輕擦定子表面，然后用用具撬起動(dòng)子，方法同前， 輕擦動(dòng)子表面，動(dòng)子的表面有若干個(gè)氣孔，它是定子和動(dòng)子間壓縮空氣的出孔，觀察這此氣孔的放氣是否均勻，否則用具小心旋開小孔中內(nèi)嵌氣孔螺母檢查是否有雜質(zhì)堵塞氣孔，處理畢后應(yīng)恢復(fù)內(nèi)嵌氣孔螺母原始狀態(tài)。需要?jiǎng)e注意的是在未加壓縮空氣時(shí)不可強(qiáng)行拉動(dòng)動(dòng)子，以免成定子及動(dòng)子的損傷。平面電機(jī)應(yīng)使用在環(huán)境溫度15~25 ℃，相對(duì)濕度小于50%的環(huán)境中，其所需的壓縮空氣經(jīng)過干燥過濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5 ℃，氣壓為0.4±0.04MPa。