更新時間:2015-12-22
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廠商性質:生產廠家
生產地址:北京美華儀科技有限公司
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1. 四探針測試儀 四探針檢測儀 四探針測定儀/四探針電阻率測定儀 型號:MHY-7795
MHY-7795型四探針測試是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法家標準并參考美 A.S.T.M 標準而的,用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的用儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等分組成,測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示,亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結果。
儀器采用了電子行、裝配。具有能選擇直觀、測量取數(shù)快、度、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結構緊湊、易操作等點。
本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、等院校對半導體材料的電阻性能測試。
四探針測試儀 術 標 :
測量范圍 電阻率:10-5~105 Ω.cm(可擴展);
方塊電阻:10-4~106 Ω/□(可擴展);
電導率:10-5~105 s/cm;
電阻:10-5~105 Ω;
可測晶片直徑 140mmX150mm(配S-2A型測試臺);
200mmX200mm(配S-2B型測試臺);
400mmX500mm(配S-2C型測試臺);
恒源 電量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔,各檔電連續(xù)可調
數(shù)字電壓表 量程及表示形式:000.00~199.99mV;
分辨力:10μV;
輸入阻抗:>1000MΩ;
度:±0.1% ;
顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;性、量程自動顯示;
四探針探頭基本標 間距:1±0.01mm;
針間緣電阻:≥1000MΩ;
機械游移率:≤0.3%;
探針:碳化鎢或速鋼Ф0.5mm;
探針壓力:5~16 牛頓(總力);
四探針探頭應用參數(shù) (見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87行) 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
整機測量zui大相對誤差 (用硅標樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機測量標準不確定度 ≤5%
計算機通訊接口 并口,速并行采集數(shù)據(jù),連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5 秒(在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時)。連接電腦使用時帶自動測量 能,自動選擇適合樣品測試電量程;
標準使用環(huán)境 溫度:23±2℃;
相對濕度:≤65%;
無頻干擾;
無強光直射;
配置 主機、探針臺、四探針探頭、
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